台湾普熙股份有限公司


干式螺旋真空泵浦(半导体)

TORRI BD 0100 A


Torri 多级鲁式转子真空泵浦是用於抽空预抽腔的紧凑、高能效解决方案。

该泵浦具有低极限压力和最佳腔体抽真空时间等特点。


操作原理
Torri BD 真空泵浦依据久经验证的鲁式转子原理进行操作。
透过叶片的回转运动,介质被一级级输送至出口。
由於叶片具有特殊轮廓且采用精密工艺制造,它们不会彼此触碰或触碰到壳体。
此外,压缩室无需添加任何润滑液或工作液。
转子由直接耦合连接的同步水冷型电机驱动。


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