馗鼎奈米科技股份有限公司

特色
・处理均匀性佳
・离子能量低、不损伤基板
・没有电极及基板的污染
・专利设计之特殊电浆电极
・高密度电浆源
ˇ电浆效率高、清洁效率高
ˇ可控制低的离子能量
ˇ结合化学反应性及物理撞击性
・处理速度快、清洁效率高、可靠度高
・操作范围广
・可使用多种制程气体
・设备稳定高，容易维护
・可依客户需求作更改

应用产业
・残余光阻去除
・蓝膜残胶去除
・PSS 来料清洁制程