用於取放機以及黏晶機的線性馬達
-直線以及旋轉型致動器用於黏晶機的頭部
-致動器先移動至取的位置在做軟著以找表面的晶圓但不得造成晶圓的任何損害.該力量低於10g
-在取得晶圓後致動器移動至攝影機的頂端以確認位置是否精準
-針對不同的晶圓尺吋(256M, 512M, 1G, 2G etc..) 黏著在3.0kg, 3.5Kg, 4.0Kg力量下
-平均2.2秒內循環一次
- L. Peak Force: 45N
- L. Encoder Res. : 1 um
- R. Encoder Res. : 19, 456 CPR
Total Mass : 1.1Kg.f
SMAC的優勢:
-不同晶片可以設定不同的線性控制力量.
-基準的旋轉解析度可使相機能明確的定位
-體積輕小高度不高, 可以避免干擾頂端的相機
-不同晶片可以設定不同的線性控制力量.
-基準的旋轉解析度可使相機能明確的定位
-體積輕小高度不高, 可以避免干擾頂端的相機
