晶片用抗静电真空吸笔 C001/2/3-X/Y
Fluoro 真空吸笔- Wafer Handling Tool
1) 吸笔本身:
001-NC-常关型, 按著按钮才会吸
002-NO-常开型, 碰到就会吸, 按著按钮为放下所吸附的物体
003-NO+SW可控式常开型, 与002一样, 只是在 阀门上多个ON/OFF开关)
2) 吸笔头:
用相同笔身, 可更换不同尺寸5"/6"/8"/12" 的吸笔头可供选择, 有固定式(吸笔头及柄身为一体成型)及可调式吸笔头(吸笔头由不锈钢管与笔身连结, 可调整约20度角度)
其他配件如吸笔座;抗静电真空管线;真空帮浦;测漏仪...等等可选择搭配使用
图片中为C002-X(100)/ 97-CP 可调式常开型8"抗静电真空吸笔
所搭配的是桌上型吸笔座(吸笔放回吸笔座时, 中间卡榫可暂时中断吸力)
下方有不同的吸笔头(左三支为固定式吸笔头, 右三支为可调式吸笔头)
另有防酸系列可选择
详见 http://www.fluoro.co.jp/product/vacuum-wand-big5.html