晶片用抗靜電真空吸筆 C001/2/3-X/Y
Fluoro 真空吸筆- Wafer Handling Tool
1) 吸筆本身:
001-NC-常關型, 按著按鈕才會吸
002-NO-常開型, 碰到就會吸, 按著按鈕為放下所吸附的物體
003-NO+SW可控式常開型, 與002一樣, 只是在 閥門上多個ON/OFF開關)
2) 吸筆頭:
用相同筆身, 可更換不同尺寸5"/6"/8"/12" 的吸筆頭可供選擇, 有固定式(吸筆頭及柄身為一體成型)及可調式吸筆頭(吸筆頭由不銹鋼管與筆身連結, 可調整約20度角度)
其他配件如吸筆座;抗靜電真空管線;真空幫浦;測漏儀...等等可選擇搭配使用
圖片中為C002-X(100)/ 97-CP 可調式常開型8"抗靜電真空吸筆
所搭配的是桌上型吸筆座(吸筆放回吸筆座時, 中間卡榫可暫時中斷吸力)
下方有不同的吸筆頭(左三支為固定式吸筆頭, 右三支為可調式吸筆頭)
另有防酸系列可選擇
詳見 http://www.fluoro.co.jp/product/vacuum-wand-big5.html