翔曜科技股份有限公司
真空幫浦
真空幫浦 FV-60-110/240
Fluoro 真空吸筆- Wafer Handling Tool
真空幫浦:
FV-30-110: 吸4"~6"晶片
FV-60-110: 吸8"~12"晶片
亦有240V可選擇, 如裝置在220V機台上, 方便攜帶, 或廠內無提供真空吸力時可使用
*吸氣口及排氣口均內附濾心*(可更換)
*濾窗口**
*無油適合無塵室使用
*長期高穩定性
*設計減少噪音的產生
*外殼有靜電防護
*小巧設計方便攜帶
*抗靜電真空管線 (配件)
*靜電消散的接地裝置 (配件)
*用於真空幫浦內的HEPA濾心 (零件更換)
*符合CE 國際標準規範
*HEPA濾心可阻擋99.97%的大於0.3um的微顆粒子
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