台灣普熙股份有限公司
乾式螺旋真空泵浦(半導體)
TORRI BD 0100 A
Torri 多級魯式轉子真空泵浦是用於抽空預抽腔的緊湊、高能效解決方案。
該泵浦具有低極限壓力和最佳腔體抽真空時間等特點。
操作原理
Torri BD 真空泵浦依據久經驗證的魯式轉子原理進行操作。
透過葉片的迴轉運動,介質被一級級輸送至出口。
由於葉片具有特殊輪廓且採用精密工藝製造,它們不會彼此觸碰或觸碰到殼體。
此外,壓縮室無需添加任何潤滑液或工作液。
轉子由直接耦合連接的同步水冷型電機驅動。
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