地址︰新竹市科學工業園區工業東四路5號1樓
電話︰(03)5786002
傳真︰(03)5786018
資本額︰貳億陸仟捌佰萬元
負責人︰杜家慶
董事長︰杜家慶
總經理︰杜家慶
業務經理︰彭廷彰
主要產品︰
物理氣相沉積製程用蜂巢集束器、化學氣相沉積製程用晶片承載台、氣流分散板、8吋半導體再生設備、BGA 電槳清洗機。
公司經營沿革︰
慶康公司製造半導體廠內的 電漿乾式蝕刻機
CVD 或 PVD 製程腔體內的精密消耗性零 組件
本公司另外生產用於研發室 實驗室和生產設備
的全電腦控制製程系統, 包含 ICP 電漿清洗機
RIE, 蝕刻機, CVD 和 PVD 等.