地址︰新竹市科學工業園區研發二路17號1樓
電話︰(03)5779393
傳真︰(03)5779191
資本額︰柒仟伍佰萬元
董事長︰谷口悟
總經理︰戴春平

主要產品︰
電漿蝕刻系統、電漿去光阻系統(專用於半導體和LCD 界)、其他半導體相關設備。